蒸發(fā)鍍膜涉及到的相變固-氣相變：即升華。在這一過程中，源材料從固態(tài)直接轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)，而不經(jīng)歷液態(tài)。這需要足夠的能量的才能發(fā)生的，一般用加熱的方式可以實現(xiàn)。氣-固相變：即冷凝，升華的逆過程。當蒸發(fā)出的氣態(tài)物質(zhì)遇到冷卻的襯底時，它們會凝結(jié)在其上，形成固態(tài)的薄膜。這是一個從氣態(tài)到固態(tài)的相變過程。

什么是蒸汽壓？固態(tài)或液態(tài)均有蒸汽壓，本文只討論固態(tài)的蒸汽壓。微觀上來說，當某固體在密閉容器中蒸發(fā)成氣體時，分子無法逃逸。一些氣體分子終會撞擊凝聚相并凝結(jié)回其中。當氣體的冷凝速率變得等于固體的蒸發(fā)速率時，氣體，固體的量不再改變。容器中的氣體與固體處于平衡狀態(tài)。此時的氣態(tài)的壓力就叫做蒸汽壓。

宏觀來說，蒸汽壓描述了一個物質(zhì)在特定的溫度下轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài)的能力。一個物質(zhì)的蒸汽壓越高，它們的分子更容易擺脫分子間吸引力而進入氣相，意味著它在較低的溫度下就更容易蒸發(fā)。蒸發(fā)鍍膜與蒸汽壓的關(guān)系對于蒸發(fā)過程，材料應該在可實現(xiàn)的加熱范圍內(nèi)具有足夠的蒸汽壓，使得它能夠蒸發(fā)并在襯底上形成均勻的薄膜。蒸汽壓應該足夠高，以便在合理的時間內(nèi)完成蒸發(fā)過程。但是也不能太高，以免造成蒸發(fā)速率過快難以控制。